可编程结构光栅(PSLM):实现了对结构光栅运动的软件控制,避免了传统的压电
陶瓷马达(PZT)驱动玻璃摩尔纹光栅所必须的机械装置,减少了机械磨损和客户维修
成本。
运用先进的相位轮廓调制测量技术(PMP),8比特的灰阶分辨率,达到0.37微米的
检测分辨率,相比激光测量精度提高了2个数量级,大大提高了设备的检测能力和适
用范围。
可编程结构光栅(PSLM):实现了对结构光栅运动的软件控制,避免了传统的压电
陶瓷马达(PZT)驱动玻璃摩尔纹光栅所必须的机械装置,减少了机械磨损和客户维修
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检测分辨率,相比激光测量精度提高了2个数量级,大大提高了设备的检测能力和适
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